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自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用…
2004
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压阻变换压力传感器的性能预测模型(英文)
2004
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新型复合硅微传感器的设计
2004
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MEMS光开关应用于机群系统光互连网络
2004
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5
超精密工件在线直线度多传感器测量方法
2004
01
6
第一台多功能微纳米级表面特性摩擦显微仪(英文)
2004
03
7
光栅微振动测试传感技术的研究
2004
02
8
基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造(英文)
2004
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六自由度微动工作台柔性铰链设计
2004
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10
纳米定位测量机操作测量结果(英文)
2004
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三自由度水平轴硅微机械陀螺结构设计与仿真
2004
03
12
使用SPM的纳米级加工技术新进展
2004
01
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双光子三维微细加工的进展
2004
01
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体硅隧道加速度计
2004
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